Введение в фотолитографию Ю.С. Боков, В.С. Корсаков и др.
В книге освещены основныепроблемы современной фотолитографии и оценены перспективы ее развития. Рассмотрены свойства фоторезистов, процессы образования фоторезистивных покрытий, способы получения фотошаблонов, процессы восроиизведения изображений элементов микросхем на фоторезисте и на подложке, контактная и проекционная фотолитография , применение гологафических методов в фотолитографии, электронолитография. Рассмотрено применение фотолитографии при изготовлении интегральных микросхем по тонкопленочной технологии.
Присутствуют внешние следы эксплуатации. Возможно наличие потертостей и микроцарапин, товар технически исправен.
| Артикул | FC0003833 |
| Год выпуска | 1977 |
| Состояние Товара | Хорошее |
| Производитель | СССР |
| Год выпуска | 1977 |
| Вес | 494 |
